降低漏檢並提升製程良率,是薄膜相關產業目前待解決的課題,因此,透過自動化檢測,並回饋上游製程改善顯得十分重要。
誤殺率<5%;誤放率<1% 連續5天運行40小時以上, 停機總時<2小時,間隔>1小時
採用紅/黃/綠 三色燈設計,檢測結果一目了然, 作業中系統檢測到不良品,會發出警報訊號與亮紅燈警示,並起動NG防護光閘門檢SENSOR防護,避免損失擴大